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超聲霧化類 濺射鍍膜類 其他

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CBD/PECVD系統(tǒng)

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石墨烯/納米管生長爐 氫氣爐 RTP快速退火爐 高溫高壓爐 燒結(jié)爐、晶體爐 淬火爐 工業(yè)爐

混氣系統(tǒng) 冷水機(jī)組

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硬度計(jì) 紅外光譜儀 橢偏儀 角測(cè)量?jī)x 膜厚儀 拉曼分析儀 平面干涉儀 萬能試驗(yàn)機(jī) 電鏡制樣儀器

超聲波清洗 等離子清洗 紫外臭氧清洗 晶圓清洗機(jī) 顯影清洗機(jī)

混料機(jī) 瑪瑙研磨缽 球磨機(jī)