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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD及PECVD系統(tǒng) > CBD/PECVD系統(tǒng) > OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
簡要描述：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá) 3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，Z快升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號：OTF-1200X-4-RTP-C3HV廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2016-04-12訪 問 量：2140產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 3、PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。 4、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：單相208-240V AC 50/60Hz 10KW 2、石英管：外徑Φ110mm，內(nèi)徑Φ103mm，長380mm 3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Φ10mm，燈長300mm 4、加熱區(qū)：300mm 5、工作溫度：zui高溫度1100℃ 6、控溫精度：±0.5℃ 7、zui高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s 8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制 9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水 冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr 10、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵） 11、質(zhì)量流量計：3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS 12、混氣罐：Φ80mm×120mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm 重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg |
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